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GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪
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产品名称:
GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪
产品型号:
GSL1100X-SPC16-3
产品展商:
沈阳科晶自动化设备有限公司
会员价格:
0.00 元
关注指数:1103
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GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备，及非导体材料实验电极制作。
GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪
的详细介绍
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产品型号： |
GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪 |
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产品简介： |
GSL1100X-SPC16-3 等离子3靶溅射仪是一款经过CE认证的紧凑型等离子镀膜机。本机是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。它的特别之处是在一个真空室内设计安装了三个靶。旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料。适用于实验室的各种复合膜样品制备，及非导体材料实验电极制作。
本机“三包”期一年，一年以后给与保修。 |
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主要特点： |
1、配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
5. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
6、本仪器也可以作为新材料性能实验的工具。
7、本公司提供样机供用户免费体验，欢迎用户到我们公司使用，免除您的后顾之忧。 |
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技术参数： |
1、靶（上部电极）：直径：45mm，厚度：0.12mm
2、真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
3、溅射面积：Ф45mm，三区域
4、真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
5、离子电流表： 最大电流：50mA
5、 定时器： 最长时间：900S
6、微型真空气阀： 可连接φ3mm软管
7、可通入气体： 多种
8、最高电压：-1600（-3000）DCV
9、机械泵： 2L/S
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产品规格： |
长360mmx宽300mmx高400mm |
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标准配件： |
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可选配件： |
各种靶材 |