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GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸碳仪

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产品名称: GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸碳仪
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。本机能够满足扫描电子显微镜样品的制备和非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸碳仪

   的详细介绍

产品型号

GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪

主要特点

配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品的制备

技术参数

1、靶:Φ50mm

2、样品台:Φ50mm

3、真空室:Φ160mm×110mm

4、真空度:4×10-1mbar-2×10-2mbar

5、蕞大电流:50mA

6、可设定蕞长时间:9999s

7、蕞高电压:1600V   DC可调

8、真空泵:4L两级机械旋转泵,极限真空2×10-2mbar

标准配件

1

金靶材

1

2

碳绳

1

3

钨丝篮

2

4

热蒸发附件

1

5

进气针阀

1

6

保险丝

2

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材


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