产品[
GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪
]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪
产品型号:
GSL-1100X-SPC-16M
产品展商:
沈阳科晶自动化设备有限公司
会员价格:
0.00 元
关注指数:1
产品文档:
无相关文档
GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。也可作为新材料研究的实验仪器。
GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪
的详细介绍
|
产品型号： |
|
|
产品简介： |
GSL-1100X-SPC-16M 磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。 |
|
主要特点： |
1、 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监 控仪器状态；
2、 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3、 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4、 陶瓷密封高压头比通常采用橡胶密封的更经久耐用；
根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。 |
|
技术参数： |
1、 本系统装配了磁控靶，靶面直径为50 mm，可快速更换靶材。溅射头用Peltier制冷，可得到高性能、精细颗粒的涂层（无需水冷却）。
2、 可选用水冷溅射头和水冷载物台。
3、主机规格：L360mm*W300mm*H380mm
4、靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm
5、真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
6、溅射面积： Ф50mm
7、指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
8、子电流表： 最大电流：50mA(100mA)
9、定时器： 最长时间：9999S
10、微型真空气阀：可连接φ3mm软管
11、可通入气体： 多种
12、最高电压： -1600 DCV
13、机械泵： 2L/S
|
|
产品规格： |
|
|
标准配件： |
|
|
可选配件： |
金、铟、银、铂等各种靶材 |