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全自动椭偏检测机台

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产品名称: 全自动椭偏检测机台
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台,通过整体高度模块化,电、气路集成技术,实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性,异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征;工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜(配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜)全片离线化快速扫描测量。

全自动椭偏检测机台

   的详细介绍


产品型号

全自动椭偏检测机台

主要特点

1、支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术

2、支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告

3、支持多椭偏方案,多组合集成

4、支持测头模块以及样件机台定制化

技术参数

自动化程度

可变/固定角

应用定位

高阶高精度型

高精度型

单次测量时间

0.5-5s

分析光谱

380-1000nm(支持扩展至193-2500nm)

Mapping行程

支持100x100mm行程扩展

支持样件尺寸

支持200mm样件


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