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OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉

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产品名称: OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉
产品型号:
产品展商: 科晶
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简单介绍

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉是一款快速蒸发管式炉,专门用于PVD或CSS法制作薄膜;其炉管外径为11″,炉管内载样盘可放置3″ 的圆形或2″×2″的方形基片;OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体顶端和底部,升温速率高达20℃/s ,可迅速使炉腔内温度升高;冷却速率:>10℃/s,可在镀膜后使样品快速降温;温控系统采用PID30段程序化控制,控温精度为±1℃,并且仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉

   的详细介绍


产品名称

OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜(CSS)炉

产品型号

OTF-1200X-RTP-II

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备需选配自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC220V 50Hz20A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接

       头)

4、工作台:设备为落地式,占地面积1m2以上

5、通风装置:需要

主要特点

1为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上

2紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片(Ø76mm×0.5mm),使得样品基片上的温度更加均匀 

33的石墨坩埚可放于底部加热元件上,用于盛放蒸发料

4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr,通过分子泵真空度可达10-5torr

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可以精 确测量腔内真空度。

技术参数

1电源:单相AC208V-240V(需20A的空气开关)

2真空腔体:高纯石英管,外径280mm,内径275mm,高229mm

3、加热元件:两组IR红外灯管,额定功率800W,总功率1600W

4、热电偶:S型热电偶2个,分别安装于上下法兰上

5、工作温度:两个加热区域单独工作的极限温度≤650℃,两加热区域极限温差≤350

6、加热速率:>8/s

7、冷却速率:>10/s600-100℃)

8、真空法兰:316不锈钢制作,配有1KF-25接口、21/4软管接头

9、真空计:数字式真空显示计

可选配件

1PC控温软件 

2、两路混气系统

3、多路浮子混气系统

4、多路质子混气系统

5、真空泵

6、水冷机

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