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SE-L光谱椭偏仪

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产品名称: SE-L光谱椭偏仪
产品型号:
产品展商: 科晶
会员价格: 0.00 元
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简单介绍

SE-L光谱椭偏仪是一款全自动高精度光谱椭偏仪,集众多科技砖利技术,采用行业前沿**技术,配置全自动测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析。SE-L光谱椭偏仪广泛应用于半导体薄膜结构:介电薄膜、金属薄膜、高分子、光刻胶、硅、PZT膜,激光二极管GaN和AlGaN、透明的电子器件、平板显示、光伏太阳能、功能性涂料、生物和化学工程、块状材料分析等领域。

SE-L光谱椭偏仪

   的详细介绍



产品型号

SE-L光谱椭偏仪

主要特点

1、高精度自动测量光学椭偏测量解决方案

2、全自动变角、调焦等控制平台,一键快速测量

3、软件交互式界面配合辅助向导式设计,易上手、操作便捷

4、丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力

5、采用氘灯和卤素灯复合光源,光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置,实现Psi/Delta光谱数据高速采集

7、全自动椭偏测量技术,基于行业优越电机控制技术,全自动调整测量角度,高精度控制样件台,实现样件快速自动对准找焦

8、颐光砖利技术确保在宽光谱范围内,提供上等稳定的各波段光谱

9、数百种材料数据库、多种算法模型库,涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度:自动变角

2、应用定位:自动型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

4、分析光谱:380-1000nm(可扩至193-2500nm)

5、单次测量时间:0.5-5s

6、重复性测量精度:0.01nm

7、光斑大小:大光斑2-3mm,微光斑200um

8、入射角调节方式:自动变角

9、入射角范围:45-90°

10、找焦方式:自动找焦

11、Mapping行程:支持100x100mm(可选配)

12、支持样件尺寸:*大至200mm

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

其他选择

Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)

温控台:室温一600℃(供参考,按需定制)

可选配件

1

温控台

 

2

Mapping扩展模块

 

3

真空泵

 

4

透射吸附组件


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