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PCE-6小型等离子清洗机

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产品名称: PCE-6小型等离子清洗机
产品型号: PCE-6
产品展商: 科晶
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简单介绍

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Ø160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率为3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。PCE-6小型等离子清洗机体积小,占用的空间少,可有效节约实验室空间。PCE-6小型等离子清洗机配有一个双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

PCE-6小型等离子清洗机

   的详细介绍

产品名称

PCE-6小型等离子清洗机

产品型号

PCE-6

主要特点

1通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间

2时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上

 

3设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体,进气接口为6mm卡套接口

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数

1电源:AC220V  50/60Hz

2输出功率:7.2W10.2W29.6W

3、真空泵功率:<500W

4、总功率:<600W 

5、射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

6、等离子腔体:高纯石英腔体,Ø160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Ø45mm的观察窗

7、真空泵:240L/min,直连式双旋真空泵

8、极限真空度:50mtorr

9、通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

清洗及蚀刻