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PCE-8等离子清洗机

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产品名称: PCE-8等离子清洗机
产品型号: PCE-8
产品展商: 科晶
会员价格: 0.00 元
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简单介绍

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

PCE-8等离子清洗机

   的详细介绍

产品名称

PCE-8等离子清洗机

产品型号

PCE-8

主要特点

1采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等

2内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精 确地控制进气流量

技术参数

1电源:AC220V

2射频功率:100Wmax,可在0-100W间调节

3、真空泵功率:<500W

4、总功率:<600W

5、射频:13.56MHz

6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径 Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法兰设有一个Ø60mm的观察窗口

7、极限真空度:50mtorr

8、通入气体:可通入多种气体,如N2ArAirH2O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻