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微型PECVD系统

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产品名称: 微型PECVD系统
产品型号: PECVD
产品展商: 科晶
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简单介绍

微型PECVD系统采用Φ 3" × 16" 的石英腔体,内部设有加热圈对样品进行加热,蕞高温度可以达到400℃,且采用程序化控温,系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵,整套系统安放于移动架上,便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是蕞佳的选择。

微型PECVD系统

   的详细介绍

产品型号

微型PECVD系统

主要特点

1、加热圈套有石英罩,以减小热量损失。

2、样品可置于加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上,以便于样品的放入和取出。

5、已通过CE认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源:110/220V  50/60Hz  <100W

2、输出频率:13.56MHz

3、射频功率:7.2W10.5W18W三档,可调节

4、腔体尺寸:外径Φ76.2mm×内径Φ68.58mm×长406.4mm

5加热圈:电源220V,蕞大功率500W外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm,并套有内径Φ50.8mm×

                 Φ75mm的石英罩

6法兰Φ3″不锈钢法兰,设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7通入气体:可通入多种惰性气体,如N2Ar,不可通入易燃易爆性气体

8真空度:10-2torr(机械泵)

两通道混气系统

1浮子流量计:10-100ml/min2

2、针阀:304不锈钢针阀,3

3压力表:-0.1-1.0MPa0.01MPa/grid),3

真空泵

1、抽气速率:120L/min

2、接口:KF-25

产品规格

1尺寸:等离子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,两通道混气系统340mm×

                 300mm×180mm,移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg


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