涂膜机,磁控溅射镀膜仪,溅射蒸碳仪,等离子表面处理仪,等离子清洗机,等离子3靶溅射仪,提拉涂膜机,沈阳研磨抛光机

产品资料  Product material
产品[

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

]资料
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
产品型号: OTF-1200X-F3LV
产品展商: 科晶
会员价格: 0.00 元
关注指数:461
产品文档: 无相关文档

简单介绍

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV是由开启式单温区管式炉、机械泵、三通道浮子混气系统组成,可为CVD或扩散实验提供1-3种的混合气体,真空度可达10-2torr。

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

   的详细介绍

产品型号

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

主要特点

1层壳体,配有循环风冷系统,壳体温度<60℃。

2内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率,同时延长使用寿命

3PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

4设有超温及断偶报警功能

5已通CE认证。

技术参数

1电源:AC 220V   50/60Hz  2.5KW

2、石英管:外径Φ80mm,内径Φ75mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:蕞高1200连续工作1100

7、蕞大升降温速率:20/min

8、控温精度:±1

9、真空度:5.5×10-3torr(机械泵),10-4torr(分子泵)

10、泄漏率:<5mtorr/min

11、浮子流量计3个;10-100ml/min16-160ml/min25-250ml/min

12、压力表:4

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,混气系统600mm×600mm×597mm;重量:60kg



产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

Copyright© 2003-2018  沈阳科晶自动化设备有限公司  版权所有  
销售部:024-23826161  23826163  23826164转805 812 825 821 811 808  售后部:024-23826164转829
销售热线:18624331856  18624331865  18624331992  18624331806 18624331853 售后热线:18624331680
传真:024-23826165  E-mail:kejing@sykejing.com  网址:http://www.sykejing.com 
邮编:110171  地址:沈阳市浑南新区学风路26-2-7号,精密仪器工业园

  辽ICP备10002587号-2
 

辽公网安备 21011202000257号