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高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

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产品名称: 高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
产品型号: OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
产品展商: 科晶
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简单介绍

高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成的CVD系统,其炉管直径为4″,蕞高温度可达1200℃,极限真空可达 10-5 torr,混气系统可对1-9种气体进行精确的混合,然后导入管式炉内部,可用来研究气体环境对材料的影响。

高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

   的详细介绍

产品型号

高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4--C9HV

主要特点

1、炉体采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面的温度<60°。

2保温材料采用高纯氧化铝纤维,减少热量损失,且内膛涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,延长使用     寿命

3、设有三个温区,可独立控温,可设置50段升降温程序,并设有过热和断偶保护。

4、供气系统与真空机组置于移动架内,方便移动。

5真空系统采用一键操作,按下“start 键后隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动,待真空度达到

      10-2mbar后分子泵自动启动)。

6、根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率。

7、已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源:AC 208-240V单相   50/60Hz  7KW

2、炉管:高纯石英管,外径Φ100mm×内径Φ92mm×1400mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝,表面涂有氧化锆

4、加热区:温区I220mm,温区II440mm,温度III220mm,总长880mm

5、恒温区:500mm(三个温区设为同一温度时)

6工作温度:蕞高1200℃,连续工作1100

7、蕞大升温速率:≤20/min

8、控温精度:±1

9、热电偶:3K型热电偶

高真空机组

1、输入电源:AC110VAC220V可切换  50/60Hz

2、消耗功率:110W

3、壳体尺寸:600mm×600mm×700mm

4蕞大承重量:270kg

5、抽气速率:N2-33L/sHe-39L/sH2-32L/s

6、工作范围:1000mbar-<10-7mbar

7、极限真空度:10-5torr

8、数字式真空显示计:10-8mbar-103mbar

质量流量混气系统

1、质量流量计:9通道精密质量流量计

2、流量计范围:10-1000scc三个,20-200scc三个,30-10scc三个

3、压力表:3个,用来检测混合气体压力

产品规格

尺寸:炉体550mm×380mm×520mm,高真空机组600mm×600mm×700mm

        质量流量混气系统600mm×600mm×700mm

重量:100kg

真空配件

1

不锈钢真空密封法兰

2

2

精密针阀

2

3

1/4软管接头

1

4

高温硅胶O型密封圈(蕞高可承受300℃)

6

5

氧化铝管堵

1

6

KF-40真空波纹管

1

7

KF-40快速卡箍

3

8

KF-25卡箍

2

可选配件

防腐型数字真空显示计


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