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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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产品名称:
1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
产品型号:
GSL-1700X-4-C2HV
产品展商:
科晶
会员价格:
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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，蕞高工作温度可达1600℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5 torr。
1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
的详细介绍
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产品型号
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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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主要特点
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1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。
2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。
3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。
4、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。
5、已通过CE认证。
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技术参数
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管式炉
1、电源：单相AC 208-240V 50/60Hz 6KW
2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ100mm，内径Φ92mm，长1000mm
3、加热元件：1800℃硅钼棒8根
4、加热区域：457mm
5、恒温区域：150mm
6、工作温度：蕞高1650℃，连续工作1600℃
7、蕞大升温速率：≤5℃/min
8、控温精度：±1℃
9、热电偶：B型
10、不锈钢真空法兰：1对
11、机械压力表：1个
12、针阀：2个
13、连接器：KF-25，1个
14、抽气接口：KF-25转KF-40
15、卡套接头：1/4″
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高真空机组
1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 100-110W
2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵
3、显示屏：LCD数字显示
4、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s
5、工作范围：1000mtorr-10-7mtorr
6、极限：10-8mtorr（无泄漏）
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质量流量混气系统
1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 18W
2、功率：18W
3、混气箱：Φ80mm×120mm
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产品规格
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尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×
600mm×700mm
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