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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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产品名称:
1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
产品型号:
GSL-1700X-4-C2HV
产品展商:
科晶
会员价格:
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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,*高工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行**的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr。
1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
的详细介绍
产品型号
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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV
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主要特点
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1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。
2、采用高纯氧化铝纤维,有效减少热量损失。
3、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和使用寿命。
4、采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。
5、已通过CE认证。
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技术参数
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管式炉
1、电源:单相AC 208-240V 50/60Hz 6KW
2、炉管:高纯氧化铝陶瓷管,外径Φ100mm,内径Φ92mm,长1000mm
3、加热元件:1800℃硅钼棒8根
4、加热区域:457mm
5、恒温区域:150mm
6、工作温度:*高1650℃,连续工作1600℃
7、*大升温速率:≤5℃/min
8、控温精度:±1℃
9、热电偶:B型
10、不锈钢真空法兰:1对
11、机械压力表:1个
12、针阀:2个
13、连接器:KF-25,1个
14、抽气接口:KF-25转KF-40
15、卡套接头:1/4″
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高真空机组
1、电源:单相AC208-240V 50/60Hz 100-110W
2、真空泵:德国Pfeiffer真空泵
3、显示屏:LCD数字显示
4、抽气速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s
5、工作范围:1000mtorr-10-7mtorr
6、极限:10-8mtorr(无泄漏)
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质量流量混气系统
1、电源:单相AC208-240V 50/60Hz 18W
2、功率:18W
3、混气箱:Φ80mm×120mm
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产品规格
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尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,高真空机组600mm×600mm×700mm,质量流量混气系统600mm×
600mm×700mm
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