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生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
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产品名称:
生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
产品型号:
OTF-1200X-4-NW
产品展商:
科晶
会员价格:
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生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW是一种紧凑型CVD炉,专为生长各种纳米线而设计,基片*大3″。在法兰的左侧装有一个小加热器,可对输入的气体、液体、固体进行预加热后进入 CVD 炉进行纳米线的生长。其可滑动的样品架使操作更为简单。
生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
的详细介绍
产品型号
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生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
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主要特点
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1、由OTF-1200X-4单温区炉演变而来的紧凑型CVD炉。
2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。
3、带样品支架的右法兰是滑动的,方便样品的快速取放。
4、左侧的小加热器可对输入CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热,不锈钢加热腔外径30mm、长150mm
,*高工作温度600℃。
5、左边法兰(在加热器与CVD炉之间)装有4个1/4″卡套连结的通气管,具有密封和气体通道的作用。
6、PID自整定数字控制器 ,可以设置30段升降温程序。
7、选配相关软件可用计算机进行控温。
8、已通过CE认证。
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技术参数
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1、额定电压:单相AC 220V 50/60Hz
2、额定功率:3KW(需20A的空气开关)
3、石英管:外管外径Φ110mm,内径Φ102mm,长381mm
4、加热区域:CVD炉400mm,加热器150mm,
5、工作温度:CVD炉*高1100℃(<2h),连续工作200℃-1000℃,*大升降温速率10℃/min;
加热器连续工作0-500℃,*大升降温速率10℃/min
6、控温精度:±1℃
7、热电偶:K型
8、右法兰:一个3″石英样品支架,与石英挡板、法兰连成一体,设有KF25真空快接口,以及水冷接口(可选配水
冷机,避免O型圈融化)
9、左法兰:有2个独立1/4″口,可单独将任何气体通入炉内,一路1/4″口将预热气体通入CVD炉,一路1/4″口将不加
热的气体通入炉内,并通过炉内的T型结构与加热气体汇合
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产品规格
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尺寸:1200mm×450mm×510mm;重量:100kg
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可选配件
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1、水冷机
2、控温软件
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