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PCE-3等离子清洗机

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产品名称: PCE-3等离子清洗机
产品型号: PCE-3
产品展商: 科晶
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简单介绍

PCE-3等离子清洗机的等离子腔体为Ø75mm×165mm的耐热玻璃腔体,输出功率6.8W、10.5W、18W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备,在射频电源的作用下,去除速率可达10nm/min。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,将对生长具有显著的作用。PCE-3等离子清洗机配有一个真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

PCE-3等离子清洗机

   的详细介绍

产品名称

PCE-3等离子清洗机

产品型号

PCE-3

主要特点

1使用可调射频电源 可以设置低、中、高功率 

2桌上型设备,结构紧凑、操作安 全、环境友好低成本

技术参数

1输入电压:110V/220V50Hz/60Hz (请提前选定),小于100W

2输出功率:13.56MHz 

3、等离子直流电源:低功率设定—680V10mA6.8W;中 功率设定—700V15mA10.5W;高功率设定—720V25mA18W

4、等离子腔室:Ø75mm×165mm,耐热玻璃,前盖可拆卸

5、通入气体:可通入多种气体,如N2Ar、空气、混合气体等,主要根据处理材料性质所定

6、真空泵和阀的要求:>160L/min,极限压力200mtorr0.27mbar),可选择数字真空表,针阀控制气体流量,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气

清洗及蚀刻