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GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

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产品名称: GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪
产品型号: GSL-1800X-ZF2
产品展商: 科晶
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简单介绍

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及进行微小产品真空镀膜工艺研究、样板试制、操作培训和生产的单位。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪在蒸发镀膜过程中样品台可以进行旋转,使蒸发的薄膜材料在样品表面均匀分布。配有两组蒸发单元,一个钨舟,一个钨丝篮;钨舟中可以放粉末状的薄膜材料,钨丝篮中可以放条状或块状薄膜材料。控制屏采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,TFT式显示器具有高响应度、高亮度、高对比度等优点,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪使高真空的蒸发镀膜设备,真空度可达3.0×10-4torr。

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

   的详细介绍


产品名称

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF2

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、工作台:落地式,占地面积2m2以上

4、通风装置:需要

主要特点

1、采用桌面小型一体化结构,将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计,体积与一台A3打印机相仿。

2采用电阻式双蒸发源结构,可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源,适应相应的镀膜材料。 

3配有0.1%精度蒸发电源,并具有恒流输出功能,对蒸发舟能起到很好的保护作用

4可选配石英晶体膜厚控制仪,在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制

5可将采集到的镀膜数据保存到U盘,便于用户分析控制(选配)

6本机将所有功能设计成标准化模块,根据用户不同的需求对相应模块进行组合,以达到极 佳的镀膜环境,并便于用户维修与维护。

7操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂

技术参数

1电源:AC220V  1500W

2、蒸发电源功率:1000W  5V  200A

3、蒸发电极有效距离:44mm 

4、样品台:Ø120mm(可旋转)

5、膜厚测量精度:0.1 Å0.01Å(可选配高精度型)

6、外接真空机组:扩散泵机组(可选配国产110机组或进口机组)(不建议使用扩散泵)

7、极限真空度:>3.0×10-3torr(扩散泵)、3.0×10-4torr(分子泵)(不建议使用扩散泵)

8、工作真空度:5.0×10-3torr (加热为100-1

9、真空接口:KF40

10、使用环境:温度35,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m

产品规格

尺寸:440mm×240mm×260mm(不包括真空机组);重量:约47kg(不包括真空泵)

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