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VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

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产品名称: VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪
产品型号: VTC-16-3HD
产品展商: 科晶
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简单介绍

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),控制面板采用触摸屏模式,基片极限尺寸为2″,放置样品的直径为Ø50mm,加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材,不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台,能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜,适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。该机设备小巧,占用实验室空间少,操作简单,应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

   的详细介绍

 

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪操作视频




VTC-16-3HD 3靶等离

产品名称

VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

产品型号

VTC-16-3HD 3

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1PLC控制面板,4.3触摸屏,PID控温方式。

2可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。

3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。

4、已通过CE认证。

技术参数

1、输入功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)

2、输出功率:1600VDC  50mAmax电流)

3、石英罩:Ø160mm×120mm

4、样品台:Ø50mm(可选购加热型样品台,极限温度可到500℃;极限射时间不可超过5min

5、真空泵:120L/M旋片式真空泵

6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量

7、靶材:尺寸直径Ø47mm,厚度0.5mm-3mm;可溅射AuAgPtCrNi,不可溅射氧化物、半导体、一些轻金属、AlZnC

产品规格

尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg

可选配件

1KF25真空接口、卡箍

2、不锈钢波纹管(600mm

3、旋片式真空泵(120L/M

4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材

5、加热型样品台

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