涂膜机,磁控溅射镀膜仪,溅射蒸碳仪,等离子表面处理仪,等离子清洗机,等离子3靶溅射仪,提拉涂膜机,沈阳研磨抛光机

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2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

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产品名称: 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2
产品型号: HVMSS-SPC-2
产品展商: 科晶
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简单介绍

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2主要适用于我公司制造的VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪、VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪,该磁控溅射头可安装直径为2"的靶材,适用靶材种类较广,如金属靶材(如金、银、铜等材料)、绝缘靶材(如陶瓷靶材、氧化物靶材、聚四氟乙烯靶材等)、磁性靶材、非磁性靶材等。2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和薄膜在样品表面分布的均匀性。该磁控溅射头可与DC或RF电源配合使用来溅射不同种类的样品。

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

   的详细介绍

产品名称

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

产品型号

HVMSS-SPC-2

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。

3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。

4、标准的HN型接头,可与DCRF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头,便于操作。

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

技术参数

1、阳极护罩直径:Ø3.5"

2所用靶材:直径2"50.8mm),非磁性靶极限厚度1/4",磁性靶极限厚度1/16"      

3磁铁NdFeB稀土永磁体

4、靶材利用率:30%

5、所需功率:DC极限1000WRF极限500W

6、溅射电流:极限3A

7、溅射电压:100V-1000V

8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr

9、溅射均匀性曲线:

                  

10、水冷却:水管外径0.25",流速0.8GPM,进水温度<20℃                      

产品规格

 

可选配件

1、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L

2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径

   为0.75",可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚

   不得大于1"

   

     

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