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VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪

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产品名称: VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪
产品型号: VTC-16-SM
产品展商: 科晶
会员价格: 0.00 元
关注指数:6
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简单介绍

VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。

VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪

   的详细介绍

VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪操作视频

用直流磁控溅射仪可获得单相Al

 

 

产品名称

VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪

产品型号

VTC-16-SM

技术参数

1、输入电源:220VAC 50/60Hz

2、溅射电流:0-150 mA可调

3、功率:<2KW

4、输出电压:1600VDCmax

5、溅射腔体

采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封:采用O形密封圈密封

6、溅射头&样品台

2英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选(图一)

 一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0-5 RPM (图五)

 安装有一可手动操作的溅射挡板(图二、三)

 样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:30-80mm(图二、三)

 靶头支架,可以在非溅射状态放置溅射靶头(图四)

 溅射面积:4英寸(max)(参考值,详情请点击)

 

 

 

 

 

图一

图二

图三

图四

图五