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SGC-10薄膜测厚仪

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产品名称: SGC-10薄膜测厚仪
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简单介绍

SGC-10薄膜测厚仪适用于介质,半导体,薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。该薄膜测厚仪,是我公司与美国new-span公司合作研制的,采用new-span公司先进的薄膜测厚技术,基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)。SGC-10薄膜测厚仪通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱,用相应的软件来拟合运算,得到单层或多层膜系各层的厚度d,折射率n,消光系数k。

SGC-10薄膜测厚仪

   的详细介绍

产品型号

SGC-10薄膜测厚仪

主要特点

1非接触式测量,用光纤探头来接收反射光,不会破坏和污染薄膜;

2测量速度快,测量时间为秒的量级;

3可用来测薄膜厚度,也可用来测量薄膜的折射率n和消光吸收k

4可测单层薄膜,还可测多层膜系;

5可广泛应用于各种介质,半导体,液晶等透明半透明薄膜材料;

6软件的材料库中整合了大量材料的折射率和消光系数,可供用户参考;

7内嵌微型光纤光谱仪,结构紧凑, 光纤光谱仪也可单独使用。

8、强大的软件功能:界面友好,操作简便,用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大,可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材料的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。

 

9、仪器具有开放性设计,仪器的光纤探头可很方便地取出,通过仪器附带的光纤适配器(如图所示)连接到带C-mount适用于微区(>10μm,与显微镜放大率有关)薄膜厚度的显微镜(显微镜需另配),就可以使本测量仪测量。

技术参数

1厚度范围: 20nm-50um(只测膜厚),100nm-25um(同时测量膜厚和光学常数nk,根据薄膜材料的种类,其范围有所不同。

2准确度:     <1nm<0.5%

3重复性:     0.1nm

4波长范围: 380nm-1000nm

5可测层数: 1-4

6样品尺寸: 样品镀膜区直径>1.2mm

7测量速度: 5s-60s

8光斑直径: 1.2mm-10mm可调

9、样品台: 290mm*160mm

10、光源: 长寿命溴钨灯(2000h

11、光纤: 纯石英宽光谱光纤

12、探测器: 进口光纤光谱仪

13、电源:AC110V-240V50HZ-60HZ

产品规格

尺寸:300mm*300mm*350mm,重量:18kg

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