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SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉

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产品名称: SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉
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简单介绍

SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。

SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉

   的详细介绍


产品名称

SP-MSM-4CZ电弧提拉法单晶生长炉

技术参数

腔体

1、采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水

2、腔体上安装有石英窗口,以便观察样品

3、腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)

4、腔体尺寸:Φ257*360mm

真空计

1腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表

电弧枪

1、共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)

2、钨电极直径为Φ4mm

3、电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节

4、起弧电源: 18 V / 185 A    电压380V

5、熔炼温度可达3000℃

 

样品台

1采用水冷铜坩埚

2、可投如样品量为60g(按铁计算)

提拉机构

1、控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速

2、提拉速度:0.2-10mm/h

3、提拉行程:0-70mm

4、转速:0-40RPM

控制单元

1、可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速)

真空泵

1设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)

2、抽气速率:100L/S

3可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)

循环水冷机

1、功率:800W

2、水流速度:58L/min

3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour)

4、温度控制:5~30°C

产品规格

设备尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)

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